纳米级边缘粗糙度分析检测

检测项目

平均粗糙度：表征表面轮廓高度的算术平均偏差。具体检测参数包括测量范围0.1nm至10μm，精度2%。

均方根粗糙度：计算表面高度的均方根值以评估整体不规则性。具体检测参数包括量程0.1nm至10μm，分辨率0.01nm。

峰谷高度：测量最高峰与最低谷之间的垂直距离。具体检测参数包括范围1nm至100μm，重复性3%。

最大高度粗糙度：确定表面最大峰谷高度差。具体检测参数包括检测范围0.5nm至50μm，精度2.5%。

偏斜度：量化表面高度分布的不对称程度。具体检测参数包括计算范围-10至10，分辨率0.1。

峭度：评估表面高度分布的尖锐程度。具体检测参数包括值范围0至20，精度0.5。

波长参数：分析表面波纹的空间频率特征。具体检测参数包括波长范围0.1μm至1000μm。

自相关长度：测量表面特征的相关性距离。具体检测参数包括长度范围0.01μm至100μm。

功率谱密度：计算表面粗糙度的频率分布特性。具体检测参数包括频率范围1Hz至1MHz。

轮廓算术平均偏差：类似平均粗糙度但基于算术平均计算。具体检测参数包括测量精度0.5nm。

检测范围

半导体晶圆：集成电路制造中的表面质量控制应用。

光学镜片：镜片表面平滑度检测以减少光散射。

微电子机械系统：微型设备边缘粗糙度分析。

纳米涂层：涂层表面均匀性和粗糙度评估。

生物医学植入物：植入物表面生物相容性相关粗糙度检查。

显示面板：平板显示器玻璃基板粗糙度检测。

硬磁盘驱动器：磁头表面纳米级粗糙度分析。

光刻掩模版：光刻工艺中掩模版边缘精度控制。

薄膜太阳能电池：薄膜表面粗糙度对效率影响检测。

纳米纤维材料：纤维边缘微观不规则性测量。

检测标准

ISO4287:1997表面纹理参数定义和测量方法。

ISO25178-2:2012表面几何参数分析标准。

ASTME1127-08扫描探针显微镜测量规范。

GB/T10610-1998中国表面粗糙度测试标准。

ISO16610-21表面轮廓滤波技术应用。

GB/T3505-2000中国表面粗糙度术语标准。

检测仪器

原子力显微镜：使用探针扫描表面进行纳米级形貌测量。在本检测中提供三维表面图像重建功能。

扫描电子显微镜：通过电子束成像实现高分辨率表面分析。在本检测中支持亚纳米级粗糙度量化功能。

白光干涉仪：基于光干涉原理的非接触式表面轮廓测量。在本检测中实现快速粗糙度参数计算功能。

激光扫描共聚焦显微镜：利用激光扫描重建三维表面结构。在本检测中执行精确微观粗糙度分析功能。

轮廓仪：机械探针接触式表面测量设备。在本检测中适用于多种材料粗糙度检测功能。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。