项目数量-1902
光栅检测
北检院检测中心 | 完成测试：次 | 2025-04-21
光栅检测是光学元件质量控制的核心环节，主要针对衍射效率、刻线精度、周期均匀性及表面缺陷等关键参数进行系统性分析。本文依据ISO10110-7及ASTME2193标准规范，从检测项目分类、适用场景界定到精密仪器选型展开论述，为工业计量与科研实验提供标准化操作指引。
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
检测项目
光栅核心性能评估包含六大维度：
几何参数测量：涵盖光栅常数（d值）偏差率（≤±0.01%）、刻线平行度（≤0.1μm/100mm）、槽形角（±0.05°）及占空比（±1%）的精密测定
光学特性验证：包括-1级衍射效率（≥85%@设计波长）、偏振灵敏度（≤3%）、杂散光强度（＜0.5%）及波长响应线性度（R²≥0.999）
表面质量评价：依据MIL-PRF-13830B标准进行划痕-麻点分级（20/10级），表面粗糙度Ra值（≤1nm@1μm×1μm）及膜层附着力（5B级）测试
环境适应性测试：含温度循环（-40℃~+85℃,100次）、湿热老化（85℃/85%RH,500h）及振动冲击（20g,11ms）后的性能稳定性验证
检测范围
| 光栅类型 | 特征参数 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 平面闪耀光栅 | 300-2400线/mm 闪耀角5°-70° | 单色仪/光谱仪核心分光元件 |
| 体全息光栅 | Δn≥0.03 带宽＜10nm | 激光脉冲压缩/光纤通信DWDM系统 |
| 凹面光栅 | 曲率半径0.5-3m 像散校正＜5μm | 空间遥感光谱成像系统 |
| 超表面光子晶体 | 亚波长周期＜λ/2 相位调控精度λ/50 | AR/VR波导片/超分辨显微 |
检测方法
激光衍射法
白光干涉术
同步辐射计量
飞秒频率梳校准
检测仪器
ZYGO Verifire MST干涉仪
- 配置Fizeau型标准镜（λ/100 PV）
- 支持动态移相扫描（1000帧/s）
- 可测口径Φ300mm@10nm重复性
Taylor Hobson CCI HD轮廓仪
- 白光垂直扫描模式（Z轴量程1mm）
- 配备120X Mirau物镜（横向分辨率0.3μm）
- 符合ISO25178表面计量标准
Bruker Dimension Icon原子力显微镜
- PeakForce Tapping模式（力分辨率10pN）
- SCANASYST-AIR探针（曲率半径2nm）
- 支持热漂移补偿算法（＜0.5nm/min）
Ocean Insight QE Pro光谱仪
- 背照式CCD探测器（QE＞90%@500nm）
- 光学分辨率0.1nm(FWHM)
- 集成余弦校正器实现4π立体角测量
*本文技术指标参照下列标准制定：
1) ISO 10110-7:2017《光学和光子学-光学元件制图要求-第7部分：表面缺陷公差》
2) ASTM E2193-16《衍射光栅绝对衍射效率的标准测试方法》
3) DIN EN ISO 4287:2010《产品几何量技术规范(GPS)-表面结构:轮廓法-术语、定义及表面结构参数》
检测流程
线上咨询或者拨打咨询电话;
获取样品信息和检测项目;
支付检测费用并签署委托书;
开展实验，获取相关数据资料;
出具检测报告。
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