光栅传感器失效检测

检测项目

光栅传感器失效检测包含以下核心评估维度：

光学系统完整性：包括光栅尺表面污染度（ISO 10110-7）、莫尔条纹对比度（≥85%）、光源波长稳定性（±3nm）

电信号特性：涵盖信号周期误差（≤±0.5μm）、正交相位偏差（90°±1°）、谐波失真率（THD＜3%）

机械定位精度：重复定位误差（≤±1μm/m）、导轨直线度偏差（≤2μm/300mm）

环境适应性：温度漂移系数（≤0.5ppm/℃）、抗振动性能（5-2000Hz/10g）

检测范围

本检测体系适用于以下应用场景：

按测量行程分类：微型传感器（＜100mm）、中型传感器（100-1000mm）、大型传感器（＞1000mm）

按工作环境分类：常规工业环境（IP54）、极端工况环境（IP68/MIL-STD-810G）

按测量维度分类：直线型光栅、圆光栅及三维空间编码器

特殊应用场景：同步辐射装置（定位精度≤10nm）、半导体光刻机（重复精度≤5nm）

检测方法

采用多维度交叉验证的检测方案：

光学性能测试：使用激光干涉仪（λ=632.8nm）进行条纹对比度测量，配合CCD成像系统实现莫尔条纹空间频率分析

电信号分析：基于24位高精度数据采集卡捕获原始信号波形，通过快速傅里叶变换（FFT）计算谐波成分占比

动态特性评估：采用电磁振动台模拟实际工况载荷谱，结合激光多普勒测振仪获取频响函数曲线

温度循环测试：在可编程温箱内执行-20℃至+80℃的梯度变化实验，监测热膨胀补偿系统的响应特性

检测仪器

标准实验室配置包含以下关键设备：

超精密激光干涉仪：分辨率0.1nm，符合ISO/TR 230-11标准要求

多通道动态信号分析仪：带宽DC-50MHz，支持同步采集16路差分信号

六自由度运动模拟平台：定位精度±0.1arcsec，最大负载500kg

纳米级表面轮廓仪：垂直分辨率0.5nm，扫描范围200×200mm²

高低温交变试验箱：温控精度±0.5℃，变温速率10℃/min

所有检测过程严格遵循IEC 62008:2005和VDI/VDE 2631标准规范执行。对于关键参数如周期误差的测量需进行三次重复实验取均值处理；动态响应测试需在三种典型激励频率下分别采集数据；温度漂移系数计算采用最小二乘法拟合温度-位移曲线。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。