MEMS电场传感器技术条件检测

检测项目

灵敏度误差、线性度偏差、零点漂移、温度系数漂移、频率响应带宽、相位延迟角、噪声等效电场强度、动态范围上限值、交叉轴干扰度、绝缘电阻值、介质耐压强度、静电放电耐受等级、机械振动灵敏度变化率、机械冲击失效阈值、高低温循环稳定性、湿热环境参数偏移量、盐雾腐蚀耐受性、电磁辐射抗扰度等级、电源电压波动容限值、信号输出阻抗匹配度、封装气密性指标、焊点抗拉强度值、材料热膨胀系数匹配度、电极极化效应系数、长期老化衰减率、重复性误差带宽度、迟滞回差百分比阈值、非线性谐波失真度阈值

检测范围

硅基MEMS电场敏感芯片组件、三维微结构电极阵列模块、纳米级悬浮振膜组件、微型化电荷感应单元体封装件、工业级电场监测探头模组、医疗电子设备内置传感器模块汽车高压系统电场监测单元体航空航天器表面电荷监测装置智能电网绝缘子泄漏电流传感器模块石油化工防爆型场强监测终端气象大气电场预警系统传感器模块高精度实验室用基准场强探头微功耗无线传感网络节点模块植入式生物医疗电场监测芯片组晶圆级未封装裸片测试样件多物理场耦合测试专用夹具校准用标准场强发生装置抗辐射加固型军用传感器模组柔性可穿戴电场监测贴片超高频宽带探测传感器阵列深海高压环境专用封装传感器模块空间电荷分布测量集成单元体微纳加工工艺验证测试样件复合介质材料介电特性测试样片微型化自校准参考源集成模块抗电磁干扰屏蔽效能验证组件高温高压加速老化试验样件多轴振动耦合测试专用夹具

检测方法

灵敏度标定采用标准平行板电场发生装置配合高精度静电计进行多点位比对测量；线性度验证通过可编程高压源生成阶梯式场强输入并记录输出响应曲线；温度系数测试依托高低温交变试验箱实现-40℃至125℃范围内参数漂移量采集；频率响应特性采用信号发生器与锁相放大器组合系统完成10Hz-1MHz扫频测试；机械振动耐受性依据MIL-STD-810G标准在XYZ三轴向实施5-2000Hz扫频振动试验；电磁兼容性测试依据IEC61000-4系列标准开展辐射抗扰度与传导发射双项验证；长期稳定性评估通过85℃/85%RH高温高湿环境持续加载额定场强进行1000小时加速老化实验；介质耐压强度测试采用程控耐压测试仪以500V/s速率升压至击穿阈值；封装气密性检测运用氦质谱检漏仪实现110^-9Pam/s级泄漏率测量；材料热匹配系数分析借助激光干涉仪测量温变条件下微结构形变量。

检测标准

GB/T18459-2018传感器通用技术条件与试验方法
IEC60747-14-3:2019半导体器件-微机电传感器第14-3部分：电场传感器测试方法
ISO16063-21:2003振动与冲击传感器校准方法第21部分：高频振动比较法校准
MIL-STD-883J:2020微电子器件试验方法标准
IEC61000-4-3:2020电磁兼容性第4-3部分：辐射射频电磁场抗扰度试验
ASTMF2182-19微机电系统(MEMS)残余应力测量标准试验方法
JEDECJESD22-A104E:2015温度循环试验标准
ISO16750-4:2018道路车辆电气电子设备环境条件第4部分：气候负荷
GB/T2423.17-2008电工电子产品基本环境试验规程盐雾试验方法
IEC60068-2-6:2007环境试验第2-6部分：振动（正弦）试验

检测仪器

KEITHLEY6517B静电计用于pA级微弱电流测量与电荷量标定；KeysightB2900A精密源表实现nV级电压信号采集与驱动控制；ESPECSH-642恒温恒湿箱提供温湿度复合环境模拟能力；LDSV964电动振动台满足20g@2000Hz高频振动测试需求；EMTESTUCS500N6全波暗室系统完成80MHz-6GHz辐射抗扰度测试；Agilent4294A阻抗分析仪实现1MHz内复阻抗特性精确测量；FLIRSC8000红外热像仪进行微结构热分布非接触式监测；PolytecMSA-600微系统分析仪完成纳米级动态位移激光测振；HELMUTFISCHERISOSCOPEMP30涂层测厚仪验证金属镀层均匀性；INFICONUL1000Fab氦质谱检漏仪执行高灵敏度密封性验证；TSI3910纳米粒子计数器监控洁净室颗粒污染等级；KLATencorP17表面轮廓仪测量微结构三维形貌参数；AMETEKCTSC-60温度冲击试验箱实现两箱法快速温变测试；OLYMPUSLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜执行亚微米级缺陷检测；HIOKIIM3536LCR表完成宽频段阻抗特性分析。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。