JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法

标准中涉及的相关检测项目

在《JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法》中，主要涉及到的内容包括真空设备的型号编制标准。虽然该标准侧重于型号编制方法，而不是具体的检测项目和检测方法，但可以合理推测与真空设备相关的一些常见检测项目。以下是可能的检测项目和方法的概述：

检测项目：

1. 真空度检测： 这个项目主要用于检测设备能够达到的真空度，确保符合设计和标准要求。 2. 漏率检测： 检查设备及其连接部件的密封性能，以确保无泄漏。 3. 材料及工艺检测： 检查设备材料的耐腐蚀性、防氧化性和耐热性。 4. 耐压检测： 确保设备能够承受工作状态下的压力。 5. 温度均匀性检测： 对于需要加热的真空设备，检测加热系统的温度均匀性。

检测方法：

1. 氦质谱检漏法： 使用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测漏率。 2. 热电偶真空计测量法： 利用热电偶真空计测量低真空度。 3. 电阻真空计测量法： 用于高真空度的测量。 4. 气压密封测试： 用于测试设备的密封性能。 5. 温度测量： 使用热电偶或红外测温仪检测设备内温度分布。

涉及产品：

- 真空泵 - 真空阀门 - 真空计 - 真空炉 - 真空腔体

这些项目和方法仅为常见实践，具体的检测项目、方法和设备应根据更详细的产品标准和技术规范来确定。

JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法的基本信息

标准名：真空设备 型号编制方法

标准号：JB/T 7673-1995

标准类别：机械行业标准(JB)

发布日期：1995-06-16

实施日期：1996-07-01

标准状态：现行

JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法的简介

本标准代替ZBJ78016-89、ZBJ78017-89、ZBJ78018-89和ZBJ78019-89四项标准。本标准规定了真空泵、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号和编制方法。本标准适用于上述各种真空设备的型号编制。JB/T7673-1995真空设备型号编制方法JB/T7673-1995

JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法的部分内容

中华人民共和国机械行业标准

JB/T7673-95

真空设备型号编制方法

1995-06-16发布

中华人民共和国机械工业部

1996-07-01实施

中华人民共和国机械行业标准

真空设备型号编制方法

1主题内容与适用范围

JB/T 767395

代警ZBJ78016~78019-89

本标准规定了真空、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号的编制方法。本标准适用于上述各种真空设备的型号编制。2真空设备型号组成

由基本型号和辅助型号两部分组成，两者中间为横直线。各种真空设备型号的构成分述如下。2.1真空泵

基本型号

辅助型号

123-456

1代表真空泵级(极)数，以阿拉伯数字表示。不分级(极)或单级(极)者省略、2代表真空泵名称，以构成名称的一个（或两个)关键字的汉语拼音第-（或第二)个字母(印刷体大写)表示，按表1规定。

3代表真空泵特征，以其关键字的汉语拼音第一(或第二)个字母(印刷体大写)表示，按表2规定或自编补充代号。

4代表真空泵使用特点（多指被抽气体性质），对于可凝性被抽气体，以印刷体大写字母“N”表示；对于腐蚀性被抽气体，以印刷体大写字母“F”表示。无特指者省略。5代表真空泵规格或主参数，以阿拉伯数字表示。6代表真空泵设计序号.从第一次改型设计开始.以字母A、B、C顺序表示。表1

真空名称

往复真空泵

定片真空票

旋片式真空泵

滑阀真空泵

罗茨真空票(机械增压蔡）

余摆线真空泵

射离子泵

单级多旅片式真空泵

机械工业部1995-06-16批准

关键字意义及拼音字母

“往“复“wang”

“定\片“ding\

“旋\片“xuan\

“滑\阀“hua”

“增\压\zeng\，\机\械\\\余”摆\yu\“真\空\zhen”“离\子\”

“旋\片\xuan”，\多\\duo\真空泵规格或主参数

独气速率

抽气速率

相应单位

1996-07-01实施

真空泵名称

分子泵”

油扩散真空泵

汞扩散真空泵

油扩散喷射泵(油增压泵）

升华泵

回旋泵（弹道泵）

复合式离子泵

锆铝吸气剂泵

制冷机低温泵

灌注式低温泵

分子筛吸附泵

水喷射泵

空气喷射泵

水蒸汽喷射泵

JB/T 7673--95

续表1

关健字意义及拼音字母

“分\子\fen”

“扩”散\kuo”

“扩”散\kuo\，\承”\gong\“增”压“zeng”

“升\华\sheng”

“回\*hui\\旅\\xuen”

“离”子\li”，“复”合式“fu”“锆”\gao\\铝”\lu”

“低”温“di”，“制\冷\zhi\“低”温“di\“灌”注\guan\“吸”附“xi\，“分”子\fen”“喷”射\pen”,\水\\shui”“喷\射\pen\，空”气”\qi”“喷射\pen”

真空泵规格或主参数

进气口径

分子筛重量

抽气量

注，1）个别规格泵的进气口径相同而抽气速率不等，则可同时标出抽气速率，单位L/5。表2

关键字意义及拼音字母

卧\式\wo\

“直\联\2hi\

“升”华器\sheng”

“多\式、\$\元\duo\

“磁\控\ci”

真空机组(以下简称机组）

基本型号

辅助型号

023-45

关键字意义及拼音字母

“凸“腔\tu”

“风\冷\feng”

磁\悬”浮\xuan”

“金\属密封\jin”

“干\式（无油》\gan\

1代表机组，以“机”字的汉语拼音“ji\的第一个字母(印剧体大写\J\表示。2代表机组中主泵名称，以代号表示，按表1规定。相应单位

3代表机组组合特征，以其关键字的汉语拼音字母(印刷体大写)表示，由制造厂编撰。通常可省略。

4代表机组中主泵的规格或主参数，以阿拉伯数字表示。5代表机组设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A.B、C.…顺序表示。真空阀门(以下简称阀门)

JB/T 7673-95

基本型号

辅助型号

123-456

1代表阀门使用真空范围，以其关键字的汉语拼音第-个字母(印刷体大写)表示.按表3规定。2代表阀门结构型式或功能类别，以其关键字的汉语拼音第一(第二、三)个字母(印刷体大写)表示，按表4规定。

3代表阀门驱动方式，以其关键字的汉语拼音第一个字母(印刷体大写)表示.按表5规定，手动式省略。

4代表阀门通道型式，以其关键字的汉语拼音第一个字母（印剧体大写）表示·按表6规定·直通式省略。

各一公称通径，单位：mm，以阿拉伯数字表示，带充气的阅门在数字之前须添加5代表阀门规格-

印刷体大写字母Q。

6代表阀门设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C.…顺序表示。表3

关键字意义及拼音字母

“超”高真空阀\chao”

关键字意义及拼音字母

“挡\板“dang”

“\插\板“cha\

“翻\板“fan\

隔\膜\\mo\

“蝶\\die\

关键字意义及拼音字母

“电\动\dian”

关键字意义及拼音字母

真空镀膜机（以下简称镀膜机）2.4

“磁”动\ei”

“高\真空阀\gao\

“三\通式\san”

基本型号

辅助型号

“低\真空阀“di\

关键字意义及拼音字母

“锥\形\zhui\

“微“调\wei\

充\气”“qi”

“球\形\qiu\

“压\差\ya”

“气\动”\Qi”

023-456

“波”动\ye”

直\角\式\jiao\

JB/T 7673-95

12代表膜层沉积原理，以其二至三个关键字的汉语拼音第一（或第二)个字母(印剧体大写）表示，按表7规定。

3代表镀膜机结构特征，以主要特征关键字的汉语拼音第一《或第二)个字母(印刷体大写)表示。按表8规定或自编补充代号。

4代表镀膜机用途特征，以其关键字的汉语拼音第一（或第二)个字母(印刷体大写)表示，按表9规定或自编补充代号。

5代表镀膜室内部儿何尺寸，圆筒形为事内径×长度，箱式为箱体内部尺寸长×宽×高。以阿拉伯数字表示，单位；mm。

6代表镀膜机设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C…顺序表示。表7

设备按膜层沉积原理的分类

电阻加热蒸发

化学气

相沉积

复合式

电子束加热蒸发

高额感应加热蒸发

激光束加热蒸发

兼有电阻蒸发源及电子束蒸发源直流溅射

直流磁控溅射

直流反应性溅射

直流吸附溅射

直流偏压溅射

高频溅射

高频磁控溉射

高频反应性溅射

高频吸附溉射

高频偏压溉射

电阻蒸发离子镀膜

电子束蒸发离子镀膜

高频感应蒸发离子镀膜

空心阴极离于镀膜

溅射离子镀膜

多弧阴极离子镀膜

族团离子镀膜

低压化学气相沉积

等离子化学气相沉积

光化学气相沉积

兼有燕发源及溅射源

兼有不同原理流积源

关键字意义及拼音字母

“蒸\发“zheng\，电“阻\\zu”“蒸\发\zheng”，电子“束\\shu”“蒸\发\zheng”，“感\应“gan”\蒸”\发\zheng”，“激”光束”ji”“溅”射\jian”

“溅”射\jian”，“磁”控\ci\“溅\射\jian\，“反”应\fan”“溅\射\ian”，“吸\附\xi\“薇”射\jian”“偏”压“pian”“溅\射\jian”，“高\颖\gao”“溅\射“jian\，“高\频”gao\，“微\控“ci”“溅”射“jian”、“高\额gao”，“反”应\fan\“溅”射“jian”，“高\频\gao”，“吸\附“xi\“溅\射”jian”，“高\频“gao”，“偏\压“pian”“离\子“1i”，电“阻\zu”“高\子\i\，电子”束\\shu\“离\子“li\，“感\应\gan”“离\\li\，\空\心\kong”“离\子\l”，“溅”射\jian\\离”子\li\，“多”弧“duo\“离\子\li”，“筷”团\cu”“化\学\hua\、\低\压“di”\化\学“hua\，\离\子\li\“化\学\hua\\光”“guang”“复\合“fu\，\蒸\发zheng\，“溅\射\jian”“复”合\fu”.意义见注

注：表中口口分别表示几种不同沉积原理关键字汉语拼音的第一（或第二）个字母（印刷体大写），4

构特征

平面溅射

同轴溅射

例性式戏射

连续式

半连续式

多室式

JB/T 7673—95

关铸字意义及拼音字母

\平\面\ping”

“同\轴“tong”

“倒”锥\dao\

“卧\式*wo\

“连\续“lian”

“丰“速续\ban\

“多\室“duo”

“箱\式“xiang\

注；对二极、三极或四极溅射的镀膜设备，以相应的阿拉伯数字表示，标记于型号的首位。表9

用途特征

塑料镀膜

制镜镀膜

硒鼓镀膜

电阻镀膜

电容镀膜

晶体镀膜

刀具镀膜

装饰镀膜

光学镀膜

电气元件镀膜

真空设备型号示例

真空泵

W—35B

往复真空泵，抽气速率为35L/s，第二次改型设计：2X-15A

双级旋片式真空泵，抽气速率为15L/s，第一次改型设计；XD—63

单级多旋片式真空泵.抽气速率为63m\/h；d.

ZJ-600

罗茨真空泵.抽气速率为600L/s：e.

YZ-150

余摆线真空泵.抽气速率为150L/s：3L-160

三极溅射离子泵，抽气速率为160L/s；g.

关键字意义及拼音字母

“塑”料\su\

制\镜\\jing\”

硒\鼓”\gu”

电“阻\\zu\

电“容\\rong”

晶“体\\ti\”

“刀\具“dao\

装\饰\\shi\

“光\学\guang”

“元\件\yuan”

分子泵，进气口径为160mm；

油扩散真空泵，进气口径为800mm；2—400

油扩散喷射泵，进气口径为400mm；j.S-400

升华泵，进气口径为400mm；

k.GL--100

锆铝吸气剂泵，进气口径为100mm，DZ—160

制冷机低温泵，进气口径为160mm；m.IF-3

JB/T7673

分子筛吸附泵，装入分子筛重量为3kg；水蒸汽喷射泵型号按下例编制：3P0.63—50/0.6-10

三级水蒸汽喷射泵。吸入压力为0.63kPa，抽气量为50kg/h，其中可凝性气体量为10kg/h，工作蒸汽压力为0.6MPa。

3.2机组

JK-400

油扩散真空泵机组，主泵进气口径为400mm；b.J3L—320

三极溅射离子泵机组，主泵抽气速率为320L/s：c.JF—250

分子泵机组，主泵进气口径为250mm。3.3阀门

GDQJ320

高真空气动挡板阀.直角式，公称通径为320mm；DDC—JQ50

低真空磁动挡板阀，直角式、带充气，公称通径为50mm；GI-—50

高真空手动蝶型阀，公称通径为50mm；d.DW-2A

低真空微调阀，公称通径为2mm，第一次改型设计；e.

CD—J25

超高真空手动挡板阀，直角式，公称通径为25mm；f.CCQ-100

超高真空气动插板阀，公称通径为100mm；g．CDY—320

超高真空液动挡板阀，公称通径为320mm。3.4

镀膜机

ZZB—S$630X800A

电阻蒸发半连续式塑料镀膜机.镀膜室圆筒内径为4630mm.长为800mm，第一次改型设计：ZZW-G$1000X1000

JB/T7673-95

电阻蒸发卧式硒鼓镀膜机，镀膜室圆简内径为$1000mm，长为1000mm；ZSX—S630X400X800B

电子束蒸发箱式塑料镀膜机，镀膜室箱体内部尺寸长为630mm，宽为400mm：高为800mm.第二次改型设计；

JGCP-Y$400X400

平面高频磁控溅射电气元件镀膜机，镀膜室圆筒内径为$400mm，长为400mm：3JG-H$400×400

三极高频溅射装饰镀膜机，镀膜室圆筒内径为$400mm，长为400mm；f.JCT—J2500X650X1700

同轴直流磁控溅射制镜镀膜机，镀膜室箱体内部尺寸长为2500mm，宽为650mm，高为1700mm；LKW-D$800X800

空心阴极离了卧式刀具镀膜机，镀膜室圆筒内径为$800mm，长为800mm、附加说明：

本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所归口并负责起草。本标准主要起草人张、李玉英。中华人民共

机械行业标准

真空设备型号编制方法

JB/T 7673-95

机械工业部机械标准化研究所出股发行机械工业部机械标准化所究所印刷（北京8141信籍

#编10081）

不得翻印

版权专有

开本880×12301/16印张3/4

字数14.000

1996年4月第--版

1996年+月第一次印

印数00.001-500

定价8.元

编号95-127

现行

北检院检验检测中心能够参考《JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法》中的检验检测项目，对规范内及相关产品的技术要求及各项指标进行分析测试。并出具检测报告。

检测范围包含《JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法》中适用范围中的所有样品。

测试项目

按照标准中给出的实验方法及实验方案、对需要检测的项目进行检验测试，检测项目包含《JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法》中规定的所有项目，以及出厂检验、型式检验等。

热门检测项目推荐

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检研究院的服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。