GB/T 11446.3-1997 电子级水测试方法通则-检测标准-检测项目-北检院

标准中涉及的相关检测项目

标准《GB/T 11446.3-1997 电子级水测试方法通则》主要涉及电子级水的质量检测，以下是标准中提到的相关检测项目和方法，以及涉及的产品：

检测项目：

电阻率
总有机碳（TOC）
微生物含量
颗粒物
重金属离子含量
阴离子和阳离子分析

检测方法：

电阻率测量：使用电导仪或专用电阻率计进行测量。
TOC测定：采用高温催化氧化或紫外消解法进行测试。
微生物测试：通过膜过滤法进行微生物检测。
颗粒物测试：利用激光颗粒计数器或光散射法。
重金属及离子含量：通过原子吸收光谱法或电感耦合等离子体光谱法（ICP）分析。
阴离子和阳离子分析：离子色谱法或其他化学分析手段。

涉及产品：

电子级超纯水
半导体工业用水
显示器制造工艺用水
太阳能电池板生产用水
光电产品生产用水

这个标准对于确保电子制造过程中所需水质的纯净度和质量控制具有指导意义，帮助制造商提供符合行业要求的高质量产品。

GB/T 11446.3-1997 电子级水测试方法通则的基本信息

标准名：电子级水测试方法通则

标准号：GB/T 11446.3-1997

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：1997-09-01

实施日期：1998-09-01

标准状态：现行

GB/T 11446.3-1997 电子级水测试方法通则的简介

本标准规定了电子级水的采样，贮存与运输及试验报告的格式。本标准适用于Ⅰ~Ⅳ级电子级水。GB/T11446.3-1997电子级水测试方法通则GB/T11446.3-1997

GB/T 11446.3-1997 电子级水测试方法通则的部分内容

GB/T 11446. 3-11446. 10—1997言

GB/T11446.3~11446.10—1997是分别对GB11446.3—89电子级水测方法通则》、GB11446.4—89《电子级水电阻率的测试方法》、GB11446.5--89电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法》,GB11446.6-89《电子级水中痕量二氧化硅的分光光度测试方法》，GB11446.7—89“电子级水中痕量离子的离子色谱测试方法》，GB11446.8—89《电子级水中总有机碳的测试方法》、GB11116.9:89电子级水中微粒的仪器测试方法》.GB11446.10—89《电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法》进行修订。

由于GB/T11446.1增加了金属镍、硝酸根离子、磷酸根离子、硫胶根离厂的技术指标，在本标准中增加了原子吸收分光光度法测定金属镍以及用离下色谱法测定硝酸根，磷酸根，硫酸根的测试方法。细菌的测试方法只用滤膜培法，对测总有机碳方法也作了全新改写，对测试方法通则，测电阻率的方法，全硅的测定\方法等都作了些修订并重新改写。本标推从实施之日起，同时代弊G13 11446.3~11446.1089.

本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标小电子工亚部标准化研究所问口。本标准起草单位：中国科学院半导体研究所，电工业部标准化研究所。本标准主要起草人;闻瑞梅、李晓英,王在忠、徐学敏、有盼、刘任重、许秀欣。..com范围

中华人民共和国国家标准

电子级水测试方法通则

Generic rules for test nethods of electronic grade water本标准规定了电子级水的采样,贮存与运输及试验报告的格式本标准适用于～N级电子级水。

2引用标准

GB/T 11446. 3-1997

梵萨GB11446.389

下列标准所包含的条文，通过铂本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标难最新版本的可能性。GB/『 11446,1—1997 电了级水3定义

3.1取样sampling

装得被试验物质的有代表性的部分，3.2在线监测in-line monitaring在高纯水牛产过程中选择台适的取样点用仪器直接对水质指标进行测量。电阻率、某些离子的涨度、微粒数等均可采用线监测。3.3度concentration

单位量试样中所包含的某种物质的量。在叙述该物质的浓度时,必须标明量纲。3.4灵敏度sensitivity

试样中被测元素的含量变化与测得的和应信号的变化之比值。灵敏度越高，工作曲线的斜率越大。3.5克/升（mg/L）milligramperlitre每升溶液中含有杂质的毫克数。3. 6微克/-(μg/L)microgram pcr litrc每升漆液中含有杂质的微克数。3.7纳克/升(ng/L）nanngramperlire每升溶液中含有杂质的纳克数。3.8 空白值blank value

冉水、试剂、器血、仪器、环境及操作人员本身引入的测量结果的额外增加值。在痕量分新中，必须将空值控制在最低限。

3.9 白试验blank tcst

在不加入试样或被测元素的情说下，按与分析试样完全相同的条件和步骤所进行的试验。3.10标雅样品standardsatnple

成分和性质为公认的标准化机构或其他权威机构所确认的一种参比物质。国家技术监督局1997-09-01批准1998-09-01实施

金recovcrtest

3.11收试验

GB/T11446.3—1997

分析技本中检查分离效果的一种试验方法,即对加入到试样中的已知量杂质进行分离操作，然后测定分离得到的该杂质的量，将两者进行比较以检查分离效果。4采样

4.1屯子级水水样的采集必须选择有代表性的采样点4.2盛水的容器（采样瓶）必须使用硬质玻璃瓶或塑料容器。用丁测定硅微粒及金属、阴离子时，必须使用聚乙烯等塑料容器。用于分析总有机碳和细菌的采样瓶，必须使用带磨口寨的玻璃瓶。4.3采样前，盛水样的容器应预先用洗净剂清洗干净.再用盐酸(1+1)或10%硝酸没泡48h(分析阴离子用的容器除外）：然后用E证-「级电子级水冲洗干净店，归满电子级水。取样前顺出水，以待测水反复冲洗后再采样。采样体积约为容器体积的3/5~~4/5。取样完毕后，应迅速盖上瓶塞。细菌采样瓶必须经高温灭菌。

4.4采集水样前必须使制水系统运行一段时间(30min以上),使各装置及系统中的水达到平衡后方可采样。采样前应开启所有阀门，使各个死角的积水放尽，并经过新鲜水充分冲洗后再采样。4.5所采集水样的数量应满足试验和复验的需要。供全分析用的水样不得少于3[.;供单项分析用的水不得少于0.3L。

4.6采样人员采样时成截医用手套，操作时不得用手触水样及版塞与水样接触部分。4.？采集水样后欣贴标签,并注明：水样名称、采样人姓名、采样地点、时间、温度以及其他条件（如气候条件)等。

5贮存与运输

水样乘集后应及时化验，尽量缩短存放与运输时间。5.1为了降低由下水样的不稳定性所造成贮存过程中其性质的改变,贮存水样应保持在5℃左右,不得有首接阳光照射。

5.2运翰水样过程中应防晒,防冻,不得倒置贮样容器。5.3经过存放或※输的水并在测试，应在报告中注明存放的时间和温度条件。6试验报告

电子级水水样的各指标的分析结果应按下表的要求报告。提供样品单位：

样品存款没运输情况：

电阻率（25）

Mn·cn

全硅，最大值

>1 m微粒数，最大值

个/ml