GB/T 11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法-检测标准-检测项目-北检院

标准中涉及的相关检测项目

标准《GB/T 11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法》主要涉及检测电子级水中的总有机碳（TOC）含量。以下是相关的检测项目、检测方法和涉及的产品：

检测项目：

总有机碳（TOC）含量

检测方法：

燃烧氧化法结合非分散红外（NDIR）检测
紫外光氧化法结合检测
化学氧化法结合检测

这些方法旨在通过不同的氧化和检测技术，准确测量水样中总有机碳的含量，每种方法都有其适用情况和技术要求。

涉及产品：

半导体制造用水
集成电路生产用水
其他电子产品生产过程中使用的高纯水

电子级水是这些产品生产过程中至关重要的部分，因此其纯度检测，尤其是总有机碳含量的检测至关重要，以确保产品质量和制造工艺的可靠性。

GB/T 11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法的基本信息

标准名：电子级水中总有机碳的测试方法

标准号：GB/T 11446.8-1997

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：1997-09-01

实施日期：1998-09-01

标准状态：现行

GB/T 11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法的简介

本标准规定了电子级水中总有机碳的测试方法。本标准适用于电子级水中总有机碳的测定。GB/T11446.8-1997电子级水中总有机碳的测试方法GB/T11446.8-1997

GB/T 11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法的部分内容

GB/T 11446. 3-11446. 10—1997言

GB/T11446.3~11446.10—1997是分别对GB11446.3—89电子级水测方法通则》、GB11446.4—89《电子级水电阻率的测试方法》、GB11446.5--89电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法》,GB11446.6-89《电子级水中痕量二氧化硅的分光光度测试方法》，GB11446.7—89“电子级水中痕量离子的离子色谱测试方法》，GB11446.8—89《电子级水中总有机碳的测试方法》、GB11116.9:89电子级水中微粒的仪器测试方法》.GB11446.10—89《电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法》进行修订。

由于GB/T11446.1增加了金属镍、硝酸根离子、磷酸根离子、硫胶根离厂的技术指标，在本标准中增加了原子吸收分光光度法测定金属镍以及用离下色谱法测定硝酸根，磷酸根，硫酸根的测试方法。细菌的测试方法只用滤膜培法，对测总有机碳方法也作了全新改写，对测试方法通则，测电阻率的方法，全硅的测定\方法等都作了些修订并重新改写。本标推从实施之日起，同时代弊G13 11446.3~11446.1089.

本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标小电子工亚部标准化研究所问口。本标准起草单位：中国科学院半导体研究所，电工业部标准化研究所。本标准主要起草人;闻瑞梅、李晓英,王在忠、徐学敏、有盼、刘任重、许秀欣。..com1范围

中华人民共和国国家标准

电子级水中总有机碳的测试方法Test method for total organic carbonin electronic grade water

本标准规定了电子级水中总有机碳的测试方法。本标准适用于电了级水中总有机碳的测定。2引用标准

GB/T 11446-8—1997

代GB11446.889

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用面构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T11446.1—1997比子级水

GB/T11446.3—1997电子级水测试方法通则3方法原理

水样中加入磷酸，控制pH<2,则无机碳酸盐分解为二氧化碳：HCO, -+H+---CO, ++H,O

CO,\-+2H+->CO, + +H,O

用红外线分析仪可以检测出二氧化碳的浓度，计算出总无机碳的含量（IC）。同样体积的水样用过硫酸盐氧化,用红外线分析仪检测出总碳(TC)的含量,则有机碳(TOC)含量等于总碳与无机碳含量之差(TOC-TC-IC).

总有机碳检测的流程如下，

一分为一

检測器

国家技术监督局1997-09-01批准氧化

检测器

1 数据处理TOC=TC-IC

过硫嵌盐

1998-09-01实施

4试剂

GB/T11446.8-1997

4.1空白用水：应符合GB/T11446.】电子级水EW-1级。4.2过硫酸钠（钾）：超纯。

4.385%麟酸：优级纯。

4.4无机碳标准溶液：称取1.1000g，碳酸氢钠（NaHCO,）和1.7700g碳酸钠（Na.CX))（500℃~600烘于)溶于不含二氧化碳的水中，稀释至1［。4.5有机碳标准猝液；称取1.000g乙酸或0.8500g苯一甲酸氢钾丁不含二氧化碳去除了有机物的水中,定容至 1 I.。

5仅器

5.1总有机碳测试仪，包括二氧化碳气体检测器改记录仪等。5.2制备不含二氧化碳水的装置，5.3进样器;5μL,10μL,50μL等。5.4规格齐全的玻璃器血包括容量瓶，烧杯，移液管等。6分析步骤

6.1测试条件的选择：仪器接通，预热30mIn后，选择工作参数，使仪器处于稳定.工作状态。6.2工作曲线的绘制：分取尤机碳和有机碳标准溶液，配制成0.05mg/L~1.00mg/L的无机碳和有机碳的混合标准溶液，待仪器基线平稳后.用注射器将不含碳的空白用水及标准溶液依次注人反应器中.记录高，分别以无机碳度对蜂高及总碳浓度对峰高作图.绘制1.作曲线。6.3水样分析，与制作.工作曲线同样步骤对水样进行分析，测定峰高，分别由相应工作曲线上查出水样中无机嵌和总碳的含，二者之差即为水样中总有机碳含量，了精密度及准确度

对10个以上100μg/L碳的标准溶液及同一100g/L碳标准溶液测定10次以上，其相对标准偏差小于10%，回收率在80%～120%之间。8试验报告

试验报告的格式按GB/T11446.3：1097第6章要求。9注意事项

9.1标准溶被应现配现用，不宜储存，在使而过程中，以氮气覆盖为宜，9.2所用器Ⅲ，使用前要先用洗涤液浸泡数小时，再用(1十1)盐酸浸泡数小时，以防止有机污染。

现行

北检院检验检测中心能够参考《GB/T 11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法》中的检验检测项目，对规范内及相关产品的技术要求及各项指标进行分析测试。并出具检测报告。

检测范围包含《GB/T 11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法》中适用范围中的所有样品。