北检院检测中心 | 点击量:15次 | 2024-12-13 08:10:42
GB 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法
标准中涉及的相关检测项目
标准《GB 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》主要涉及锑化铟单晶材料的检测。以下是标准中提到的相关检测项目、检测方法及涉及的产品:
检测项目:位错密度的测定
腐蚀坑表现的观测
晶格缺陷的检测
化学腐蚀法:通过使用特定的化学试剂对锑化铟单晶进行腐蚀,显示其位错线和位错密度。
显微镜观测:利用显微镜对腐蚀后的样本进行观测,以确定位错特征。
比对分析法:通过标准样本进行比对,分析位错密度和分布。
该标准主要适用于锑化铟单晶材料,这种材料通常用于电子和光电器件中。例如:
红外探测器
高速电子器件
光通信器件
以上信息是对《GB 11297.6-1989》标准所涉及的检测项目、方法及产品的简要描述。如需详细信息,建议查阅相关标准的完整文本。
GB 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法的基本信息
标准名:锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法
标准号:GB 11297.6-1989
标准类别:国家标准(GB)
发布日期:1988-10-09
实施日期:1990-01-01
标准状态:现行
GB 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法的简介
在晶体中,由于缺陷处的势能较高,在缺陷处的腐蚀速率较大,在适当的腐蚀剂中,当缺陷处的腐蚀速率远高于完整晶面的腐蚀速率时,在缺陷处就会形成位错蚀坑和其他斑痕,在金相显微镜下可以观测多种缺陷。GB11297.6-1989锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法GB11297.6-1989
GB 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法的部分内容
中华人民共和国国家标准
锑化铟单晶位错蚀坑的
腐蚀显示及测量方法
Standard method for showing and measuringdislocation etch plts In Indium Antimonide single crystalUDC 661. 868. 274
: 621. 193. 4
GB 11297. 6--89
本方法采用硝酸氢氟酸腐蚀剂腐蚀,适用于锑化铟原始晶片(111)面α位错的显示和测定,测面偏离(111)面应不大于3°。
1原理
在晶体中,由于缺陷处的势能较高,在缺陷处的腐蚀速率较大,在适当的腐蚀剂中,当缺陷处的腐蚀速率远高于完整品面的腐蚀速率时,在缺陷处就会形成位错蚀坑和其他斑痕,在金相显微镜下可以观测多种缺陷。
通常用位错密度来量度晶体中位错的多少。它可定义为单位体积内位错线的总长度、大致等丁在单位表面秋内露头的位错数,所用单位符号为cm-。采用硝酸-氢氟酸腐蚀剂腐蚀,位错线在(111)钢面的露头处形成乳头状的腐蚀坑,如果观测面积为A(cm\),腐蚀坑数为n,则位错密度N(cm-2)为:Np= n/A
2测量仪器和试剂
2.1金相显微镜。
2.2氢氟酸:分析纯+浓度40%。
2.3硝酸:分析纯,浓度65%~68%。2.4去离子水。
3 测量步骤
3.1样品制备
3.1.1按(111)钢面切好样品,清洗去油,川粒度不人于20um的金相砂纸或粒度不大于10μn的金刚砂研磨,去除切割机械损伤。经清洗后,样品表面不应有肉眼可见的划痕。3.1.2配制腐蚀剂,其配比为HF:HNO,-1:1(体积比)。3. 1. 3 将样品用腐蚀剂腐蚀5~10 s,腐蚀时间的长短根据腐蚀剂的温度而定。腐蚀后用去离了水清洗,用滤纸吸干水分。
3.2位错的观测
3.2.1首先用肉眼观察样品上是否有宏观缺陷以及位错蚀坑的分布情况。3.2.2在金相显微镜下,对位错密度进行观测。视场面积可根据位错蚀坑度人小进行选择:N<2×10\cm-,视场面积选2mm\左右。N,=2×102~1×10°cm-2,视场面积选1mm*左右。中华人民共和国机械电子工业部198B-10-09批准1990-01-01实施
GB11297.6--89
N>1X10cm-2视场面积选0.5mm左右。3.2.3测量点取法
在Ns<2×10°cm\时,视场在整个样品(除距边缘2mm以外)上扫描,数出所有视场面内的蚀坑总数.再测出样品被测的总面积,计算出位错密度。布N。2×10*~1×10cm-时,在距边缘2mm的圆周上找一位错密度最大点,在通过此点的直径上,平均取五个点,再在垂直此直径的另外一条直径上,平均取五个点,中心点只计入一次数值,用此九点的平均值计算出位错密度,如下图所示。在Ns1×10cm-\时,取两点即中心点和距边缘2mm的周界内位错密度最大点。2m
图1九点法示意图
GB 11297.6—89
附录A
化钢单晶中的缺陷图片
(参考件)
本附录提供一些锑化铟晶体中的位错蚀坑和其他缺陷斑痕的图片,只做为识别参考,请见单行本附加说明
本标准由机械电子工业部第十一研究所负责起草。本标准主要起草人李文华。
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现行北检院检验检测中心能够参考《GB 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》中的检验检测项目,对规范内及相关产品的技术要求及各项指标进行分析测试。并出具检测报告。
检测范围包含《GB 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》中适用范围中的所有样品。
测试项目
按照标准中给出的实验方法及实验方案、对需要检测的项目进行检验测试,检测项目包含《GB 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》中规定的所有项目,以及出厂检验、型式检验等。
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5、深度分析:根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测,然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。