GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦

标准中涉及的相关检测项目

标准《GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦》中涉及的检测项目和方法主要包括以下几个方面：

检测项目：

• 杂质含量：包括氮(N₂)、氧(O₂)、氩(Ar)、二氧化碳(CO₂)、水分(H₂O)等。
• 纯度测定：以99.999%或更高的纯度要求为主。

检测方法：

• 气相色谱法（GC）：用于分离和检测气体中的各类杂质。
• 露点仪法：主要用于测定水分含量。
• 质谱法：用于精确测定氦气纯度和检测微量杂质。
• 吸收法：常用于测定二氧化碳等特定气体成分。

涉及产品：

该标准主要适用于电子工业中使用的高纯度氦气，这些氦气被广泛用于半导体制造、光纤生产、激光技术、低温超导体以及实验室等需要高洁净度气体的领域。

GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦的基本信息

标准名：电子工业用气体 氦

标准号：GB/T 16943-1997

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：1997-08-13

实施日期：1998-05-01

标准状态：现行

GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦的简介

标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。GB/T16943-1997电子工业用气体氦GB/T16943-1997

GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦的部分内容

GB/r16943-1997

本标准楚极折 SFMTC3.20一92钢瓶表复标准(1995年版)制定的,在技术要求上与之等同,检验方法与之等效。

在将SEMT（3.20—92转化为本国家标泄时,结合我国的实际情况，删去了SEM1C3.20921中仪作为参考的物理常数和注释等内容，试验方然中增加了批样和舞气纯度两条，各顽杂损含最的测定，分别采用我国相应的通用试验方法国家标雅,同时对检测限死标样要求按SEMI标谁规定选行广适当的。以F变动与SEM1标准无实质性差尺，并使标准的技亦内容更切完整本标滩i中华人民共和化学工业部提出。本标准H化学7业部商南化「研宠院归口。本标猎起草单位：化学工业部西南化下研空院，四川不油管理局六菱化工公司。本标雅要起草人：余中越片义。1范围

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体

Gascs for electronic industryHelium

GB/116943—1997

不标逛规定了电了工业氮气的技术要求，检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从大然气，空气或丁！驰放气提取的高绝度氮，在平导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和识护气等。

分我F

相对分了责虽：4.003(按1991年国际相原了质尽）2引用标准

下列标注所也含的系文，通过在本标油中孔用构或为本标准的条文，本标准出版时，所示版本的为有效。所行标谁部会被修订.使用本标准的各方应深讨使用下列标准最新版本的可能性：GB/T 4844.1-- 1995「业氢气

GB/T832.1—86（运中微尿水分的定电解法GB/T 5832.2—86气依中微量水分的测定露点法GR/T 6285---86气体微量氧的测定电化学法GB/T8984.1—1997气本中一氢化碳、氧化嵌和甲烷的测窕气柜色谱GB/T8984.31997气体中总烃的测定火馅离子化法3要求

电了工帖用氮气的技指标应符台表「的要求。衣！技术指标

氮气纯度

氧花碳科氧化碳总含些,：

氮命生,10

氢会量.105

总烃(以烧计)个,15

水分鼠，-e

国家技术监督局1997-08-13批准指

49. 299 5

需双方商意

1998-05-01实施

4试验方法

GB/T16943-1997

装氢气按表2规定随机抽择检验，最大批量100瓶，当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时.则白同批产品中重获加倍拍样检验。若仍有任何项指标不符合本标准规定时，则该批产品不台格

长2抽岩表

虽,斑

共样数罕.

4. 2氨气纯原

氢气纯度按式（)计算：

00(1上×！

—氨气纯度.-(v/V);

氧命在,10 (V/V);

---氮含盘.l-(V/V):

一笔化磷含量十籍化鞍含，10（V);.

总烃(以甲烷计)含量,10‘(V/V)：水含量.10-(V/V).

4. 3氧含量的测定

按(GR/T 6285 约规定行测定。

仪器检测限：0.1×10-(V/V)

标推:短中个载！x10 -=×10-\(V/)4.4氯会量付测是

4.4.1米出航行象溶化给谢器的祖负谱假泌定筹中夏个管挖测限：0.2×10(V/V)

4.4.2参号作系件

26~-G1

急柱：长约2m.内径约3.2mm的不锈钢，内装数度为C.250.4mm的3A分F筛，或其他链效些谱证，

载气：底纯氮,其中氮含量应比本标准技术指标候约个数些级。流量约30 mL./min。试样体识:的 3 ml,

检溅器温度：室温或125℃

排温：室注或 65 ℃。

4.4. 3 标样:氮中含岁×10-=-~[5× J0-(V/V)。4.4.4摄作步骤

4.4.4.1用气体逆样阀将标样注入也谱柱。记录保智对间行锋而积(或峰高)，.4.4.2在州尚条作下，以标拦相同的方法注入待溅氮气试性，记录保留村可和峰面积（或峰高）4.4.4.3比较标丝们等测试样的平均而积(或译商),按式()证算氨中氮含量.其缩果不应超过本标表「的规定。

P -4 X A/4

伴品气中氮含革0V/V)*

GB/T 16943-1997

标样中氮含堆.10-\(V/V);

A，-样品气中氮的峰面积识,Lm（或峰高.u);1、~标丝中氮的峰面,mm，（或峰岸.mm）4.4.4.4最次平行测定的算术平均位为测定结采，两次平行测危相对偏差不得人于10%4.5水命的测定

按GB/T5832.1或GB/I5832.2内现延逆行测定。两外方法具存同等效方仪器检测限0.2×10*\(V/V)。仅器应经相度检理检定台格：氧化碳、一氨化碳含量的测定

按B/8984.11937的规超进行测定。仪器检测限0.1×[0\(V/V)。

标样：氮中-氧化碳、氢化碳各为1×05~5y10（V/V)，4.7总烃以甲烷的测定

按GB/T8982.3—19U7的规定进符祺是。仅器检测限：0.1V15（V/V)，

核洋;氮中个烷1×10 $～510*(V/V）,5包装、标志

5.1包装标志按（GB/1 484=.130第挚规定热行，5.2在包装窄器标以“电子气

，氨“室理。

北检院检验检测中心能够参考《GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦》中的检验检测项目，对规范内及相关产品的技术要求及各项指标进行分析测试。并出具检测报告。

检测范围包含《GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦》中适用范围中的所有样品。

测试项目

按照标准中给出的实验方法及实验方案、对需要检测的项目进行检验测试，检测项目包含《GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦》中规定的所有项目，以及出厂检验、型式检验等。

热门检测项目推荐

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检研究院的服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。