GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢

标准中涉及的相关检测项目

以下是标准《GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢》中相关的检测项目、检测方法以及涉及的产品的简要概述，并合理添加了HTML标签： ```html

一、检测项目：

• 水分含量
• 氧气含量
• 氮气含量
• 碳氢化合物含量
• 氢气纯度
• 一氧化碳含量
• 二氧化碳含量

二、检测方法：

• 水分检测：采用露点仪或湿度传感器进行测量。
• 氧气含量：使用氧化-还原电池或在线气体分析仪。
• 氮气含量：通过气相色谱仪进行分析。
• 碳氢化合物含量：运用气相色谱法，配合火焰离子化检测器（FID）。
• 氢气纯度：综合性检测，计算其他杂质含量后得出纯度。
• 一氧化碳和二氧化碳含量：采用非色散红外（NDIR）分析或者气相色谱仪检测。

三、涉及产品：

• 电子工业用高纯氢气
• 半导体生产用氢气
• 光伏行业用氢气
• 液晶显示行业用氢气
• 实验室研究用超高纯氢气

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GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢的基本信息

标准名：电子工业用气体 氢

标准号：GB/T 16942-1997

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：1997-08-13

实施日期：1998-05-01

标准状态：现行

GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢的简介

本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。GB/T16942-1997电子工业用气体氢GB/T16942-1997

GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢的部分内容

GB/T 16942 -- 1997

本标准是根据SEMIC3.19-93《钢瓶装氢标准》（95年版）制定的，在技术要求上与之等同，试验方法与之等效。

在将SEMIC3.19—93转化为本国标准时，结合我国实际情况，删去了SEMIC3.19--93中仅作为参考的说明和物理常数及注释等内容，试验方法中增加了抽样、采样和氢气纯度三条，除氮含量的测定采用SEMIC3.19一93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异，使标准技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化工研究院。本标准主要起草人：陈雅丽、戴培述。607

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体

Gases for electronic industry-HydrogenGB/T 16942—1997

本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料，分子式：H2

相对分子质量：2.016（按1991年国际相对原子质量）2引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T3634--1995氢气

GB/T5832.1—86气体中微量水分的测定电解法GB/T5832.2—86气体中微量水分的测定露点法GB/T6285--86气体中微量氧的测定电化学法GB/T6681--86气体化工产品采样通则GB/T8984.1--1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB/T 8984. 3-1997

3要求

气体中总烃的测定火焰离子化法电子工业用氢技术指标应符合表1的要求。表1技术指标

氢纯度，102

氮含量，10-6

氧含量，10-6

一氧化碳含量，10-6

二氧化碳含量，10-8

总烃（以甲烷计）含量，10-6

水分含量，10-6

国家技术监督局1997-08-13批准608

供需双方商定

1998-05-01实施

4试验方法

4.1抽样

GB/T 16942—1997

电子工业用氢按表2规定随机抽样检验，最大批量为100瓶，当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则自同批产品中重新加倍抽样检验，若仍有任何一项指标不符合本标准规定时，则该批产品不合格。

表２抽样表

产品批量，瓶

抽样瓶数，瓶

4.2采样

51~100

电子工业用氢的采样应符合GB/T6681的规定。采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不得转移。进样前采用升降压法置换、吹洗瓶阀、针形阀及管道三次。4.3纯度

氢气纯度按式(1)计算求得：

100十）10-4

式中：—氢气纯度，10-2(V/V)；~一氧化碳含量，10-6(V/V);

d --二氧化碳含量,10-6(V /V);中--氮含量,10--(V/V);

氧含量,10-(V/V);

d-总烃(以甲烷计)含量，10-6(V/V)；d。水分含量,10-(V/V)。

4.4氮含量的测定

4.4.1用配有氮离子化检测器的气相色谱仪测定氢中的氮。4.4.2 检测限;0.5×10-6(V/V)。4.4.3操作参考条件

4.4.3.1色谱柱：将色谱分析用粒度为250~600μm的5A分子筛装入内径4mm、长约3m的不锈钢管内，于300℃下通氮气活化3h；或采用等效色谱柱。4.4.3.2载气流速：30mL/min氮，载气中氮组分的含量应比样品中氮组分的含量约低一个数量级。4.4.3.3进样体积：约3mL。

4.4.3.4温度：检测器及柱加热箱均为室温。4.4.4标样：氢为底气，含氮0.5×10-6～2.5×10-6(V/V)。4.4.5操作步骤

4.4.5.1按仪器使用说明书及操作条件开启仪器直至稳定。4.4.5.2用气体取样阀把标样注入色谱柱，记录峰面积A。。4.4.5.3按4.4、5.2的操作注入被测试样，记录峰面积A；。4.4.6结果计算

4.4.6.1氮含量按(2)式计算：

样品气中待测组分i的含量，10-6(V/V)；式中：虹

GB/T 16942-- 1997

中——标准气中组分i的含量，10-6(V/V)，A；—样品气中待测组分i的峰面积，mm；一标准气中组分i的峰面积,mm2。A

当半峰宽不变时可用峰高定量。4.4.6.2取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果，平行测定的相对偏差不得大于10%。4.5氧含量的测定

按GB/T6285的规定执行。

仪器检测限：0.1X10-6(V/V)。

标样：氢中含氧1×10-6～5×106(V/V)。4.6一氧化碳和二氧化碳含量的测定按GB/T8984.1的规定执行。

仪器检测限：0.1×10-°(V/V)。标样：氢中含一氧化碳、二氧化碳为1×10-6～5×10-6(V/V)。4.7总烃(以甲烷计)含量的测定

按GB/T8984.3的规定执行。

仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。标样：氢中含甲烷1×10-6～5×10-6(V/V)。4.8水分含量的测定

按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行，要求仪器的检测限达0.2X10-6(V/V）。所用仪器必须经计量检定合格。

5包装、标志和安全

5.1包装、标志、安全按GB/T3634第6章规定执行。5.2在包装容器上标以“电子用气一氢”字样。5.3电子工业用氢出厂时应附有质量合格证，其内容包括：a）产品名称；

b）生产厂名称；

c）生产日期及批号，

d）产品的数量及压力；

e）本标准代号。

5.4电子工业用氢运输应符合《危险货物运输规则》的规定。610

现行

北检院检验检测中心能够参考《GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢》中的检验检测项目，对规范内及相关产品的技术要求及各项指标进行分析测试。并出具检测报告。

检测范围包含《GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢》中适用范围中的所有样品。

测试项目

按照标准中给出的实验方法及实验方案、对需要检测的项目进行检验测试，检测项目包含《GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢》中规定的所有项目，以及出厂检验、型式检验等。

热门检测项目推荐

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检研究院的服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。