GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

标准中涉及的相关检测项目

相关的检测项目：

• 厚度测量
• 尺寸测量
• 表面平整度检测
• 透明度和光学密度测试
• 缺陷检测（如划痕、气泡等）
• 玻璃均一性检查

检测方法：

• 使用千分尺或测厚仪进行厚度测量
• 采用投影仪或卡尺进行尺寸检测
• 使用光学平直仪进行表面平整度检测
• 使用光度计进行透明度和光学密度测试
• 视觉检查或使用显微镜进行缺陷检测
• 光学观察结合机械检查以评估玻璃均一性

涉及的产品：

该标准主要适用于光掩模基板的制造和检验。光掩模基板用于半导体行业中的光刻工艺，是制造芯片的重要材料。

这些检测项目和方法保证了硬面光掩模基板的质量，确保在半导体制造中能满足苛刻的工艺需求。

GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板的基本信息

标准名：硬面光掩模基板

标准号：GB/T 15871-1995

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：1995-01-02

实施日期：1996-08-01

标准状态：现行

GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板的简介

本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板。GB/T15871-1995硬面光掩模基板GB/T15871-1995

GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板的部分内容

GB/T15871--1995

本标准非等效采用SEMI标准SemiP1—92硬面光掩模基板》。本标准基板技术要求全部按 Semi P1—92 中第 4 章至第 8 章制定。本标准附录A是提示的附录。

本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位：长沙韶光徽电子总公司，电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人：吴保华、王亦林、赵爾生、谈仁良。1范围

中华人民共和国国家标准

硬面光掩模基板

Hard surface photomask substrales本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求.试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板(以下简称基板）。2引用标准

GB/T 15871—1995

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB19J—90包装储运图示标志

GB2828—87逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查）GB2829—87周期检查计数抽样程序及抽样表（适用于生产过程稳定性的检查）GB 3102.3—93力学的量和单位

GB7238-87玻璃及铬板表面平整度的测试方法GB9622.2—88电子被璃平均线热膨胀系数的测试方法微电子学光掩蔽技术术语

S1/T 10584—94

3定义

本标准采用 SJ/T10584规定的定义。4要求

4.1外形尺寸

4.1.1方形基板的外形尺小应符合表1和图1的规定。表-1方形基板的外形尺寸

63. 5×63. 5

76×76

88.9X 88.9

100x100

边长()

国家技术监督局1995-12-22批准nex

垂直度

0.05/25.40

0.05/25.40

0.05/25.40

0.05/25.40

摩度()

1996-08-01实施

127X127

152×152

177.8x177.8

边长()

GB/T15871-—1995

续装1

垂直度

注：高热膨服皱璃（HTE）垂直度为0.0B/25.40。0.05/25.40

0.05/25.40

0.05/25.40

图1方形硬面光掩模基板

4.1.2基板的边缘应倒成斜角或圆角，其尺寸应符合表2和图2、图3规定。min

厚度(T）

（标称）

GB/T15871—1995

表2斜角和圆角边尺寸

D4个角

图2斜角边尺寸

4.2平面度要求

GB/T15871-1995

D型4·个角

E型4选2面

图3圆角边尺于

基板的一面，在规定的整个圆形或方形质量区内，应分别具有2μm、5μm,10μm或20μt的平面度(T.1.R)。质量区的范围，见图4和图5。L2

注：D=上—12. 7

图1圆形质量区

4.3外观要求

注：D-L12.7

图5方形质量区

4.3.1基板的缺陷包括质区内的内部缺陷、正面表面缺陷、背面表面缺陷、质量区外的缺陷。基板各类缺陷数应分别符合表3、表4、表5、表6的规定。玻璃种类

高热膨胀玻璃

中热膨胀玻璃

低热膨胀玻璃

超低热膨胀玻璃

GB/T 15871—1995

表3质最区内的内部缺陷

不避光点

（玻璃）

内部缺陷尺寸规定为：（长轴+短釉)×1/2。1

2 该表基于以下假定:小于 3 μm 的缺陷,在透镜系统焦深之外将失效,不予列出。表4质量区内的表面缺陷（正面）正面

(玻璃）

划痕大小

总划痕缺陷

廖光尺寸

注：鹿光尺少：基板表面局部有光泽的小点的缺陷尺寸。总磨光缺陷

个/em

不透光点

总缺陷

个/cm

总不透光疏点缺酪

个/em

(玻璃）

边缘碎屑

珊痕大小

径向深度

外围条痕

GB/T 15871—1995

质最区内的表面缺陷(背面）

总划癌缺陷

表6质量区外的缺陷

缺陷极限值

不透光症点

由供需双方商定

不允许在何尺寸的缺陷摄坏表面，2径向深度：边续碎屑垂直十边缘的距离。3外围条痕：边续碎屑担边缘的距离。4.3.2基板均应按图6所示的凹口在背面作标记。凹门尺小应符合图7的规定。a）白冕和钠钙玻璃(HTE>以：-角凹口作标记，如图 6a 所示；b）翻硅和铅硅玻璃（MTE）以三角凹口作标记、如图6b所承；c）铝玻璃（LTE>以相邻两角回口作标记，如图6c所示：d）石英玻璃(UL.TE)以两个对角叫I作标记，如图6d所示。4.3.3基板表面不得有破缺、裂纹。F冕和钠钙玻璃(HTE）

总不透光窥点缺陷

硼硅和铝硅玻璃（MTE）

图6玻璃基板的凹口标记

怡建玻璃（LTE）

GB/T 15871—1995

续图6

2. 5mm±0.5m

, 75 mml0. 5 um

背面口（方角）

图？玻璃基板的四口尺寸

4.4材料性能要求

石英玻璃（(ULTE)

4.0mm±1.0 rm

0. 75 mm±0. 5 mm

b背面凹口(面角)

基板材料分为高热膨服（HTE）材料，如白冕和钠钙玻璃，中热膨胀（MTE)材料，如硼硅和铝硅玻璃，低热膨胀(LTE)材料，如铝硅玻璃和超低热膨胀(ULTE)材料，如石英玻璃。4.4.1基板材料的热膨胀系数和透光率应符合表7的规定。膨账系数(0~300 )

玻璃种类

HTE80×10-100×10

MTE 40×10-? --60×10-

LTE30X10-1~39×10-7

ULTE <7. 5X10

注：NA表示几乎不透光。

GB/T15871—1995

表？基板材料特性

1.5mm厚基板系列波长的最小透光率%

254 nm

365 nm

4.4.2高热膨胀，中热膨胀、低热膨胀和超低热膨胀玻璃的部分物理性能，在附录A中仅作为资料提供。

5试验方法

5.1外形尺寸检查

基板的外形尺寸用精度为0.02 mm的游标卡尺和百分表测量。垂直度(基片相邻两边的夹角)用精度为2'的万能量角仪测量。倒角有关尺寸(如A、B,C等)用5倍测微放大镜测量。5.2平面度检查

平面度按GB7238—87标准进行检查。5.3外观检查

基板的缺陷按4.3要求，用40倍大视场立体显微镜检查。缺陷的尺寸用500倍测量显微镜检查，凹口尺寸用精度为0.02mm的游标·卡尺检查。破报、裂纹用肉眼检查。5.4材料性能检查

5.4.1基板的热膨胀系数按GB9622.2进行测试。5.4.2基板的透光率用精度为1.nm的uv-可见光分光光度计进行测量。6检验规则

基板检验分交收检验和例行检验。6.1交收检验

6.1.1基板入库前应逐批进行交收检验。6.1.2所有检验均应在供货单位质量门进行，必要时订货单位亦可派人其同进行。供货单位提供检验的必要条件，并对检验结果负责。6.1.3订货单位有权对交收检验的结果进行复查。6.1.4交收检验应按GB2828中规定的一次正常检查方案进行抽样，交收检验的项目及AQL值应符合表8的规定。

检验项目

外形尺寸

外观要求

技术要求黎号

GB/T 15871--1995

表8交收检验

试验方法条号

6.1.5若交收检验不合格，该批基板应进行100%筛选后再提交检验，但必须使用加严检验。替加产检验仍不合格，则不得再次提交检验。6.2例行检

6.2.1有下列情况之一者,应进行例行检验。a）产品定型；

b)产品结构、材料、工艺有较大收变时；）正常生产情况下，每年进行一次；d）产品停产一年以上，恢复生产时。6.2.2例行检验必须在交收检验合格的批中随机抽取。例行检验应按GB2829中一次抽样方案进行抽样，例行检验项目及RQL值应符合表9的规定。表９例行检验

检验项目

外形尺寸

外观费求

平面度要求

材料性能

技术要求条号

试验方法条号

6.2.3例行检验项目中，有一项不合格时，即该批产品例行检验为不合格。7标志、包装、运输、贮存

7.1包装利标志

7.1.1内包装，基板应在100级的净化环境中包装，包装盒应能防止玻璃与玻璃相接触，并能避免基板在装运过程中受到站污。包装盒上应贴上合格证，合格证上应注明：a）产品名称、编号：

b）产品缀别与规格尺寸；

e)数量,

d）检验日期及检验员签章。

7.1.2外包装：基板采用钙塑瓦楞纸或硬纸板制作的箱子包装。包装箱应附有标签，并标明：a）产品名称、型号；

b）产品编号；

c）生产日期；

d）制造单位名称、地址。

7.1.3“包装箱外壁应标有符合GB191规定的“保持干爆”，“向上”、“小心易碎”等字样和标志。7.2运输

产品在运输过程中应防湿、防震、防损伤，不得与离蚀性物质混装运输。7.3贮存

7.3.1产品应存放在相对湿度不大于60%、干净、无有害气体的库房内。7:3.2产品从出厂之日起，存期年。硬面光掩模玻璃特性见表A1。

玻璃种类

高热膨胀玻璃

中热膨胀玻璃

抵热膨胀玻璃

超低热膨胀玻璃

(ULTE)

蝉性模量

CB/T 15871-1995

附录A

（提系的附录）

理面光掩模玻璃特性

泊松比

7. 0×10~7. 3×10a

7. 1X103~9. 4X103

7. 5×10~8. 7X103

6. 7X10~7. 4 ×10d

0. 220, 23

0. 18~~0, 26

0. 16~0. 24

0. 16~0. 19

注：泊松比CB3102.3—93力学的量和单位中3-17。密度

g/cnm3

2. 50~2. 56

2. 36~ 2. 87

2.52~2,58

2.18~2.2m

折射率

1.49~1.57

1.53~1.56

北检院检验检测中心能够参考《GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板》中的检验检测项目，对规范内及相关产品的技术要求及各项指标进行分析测试。并出具检测报告。

检测范围包含《GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板》中适用范围中的所有样品。

测试项目

按照标准中给出的实验方法及实验方案、对需要检测的项目进行检验测试，检测项目包含《GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板》中规定的所有项目，以及出厂检验、型式检验等。

热门检测项目推荐

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检研究院的服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。