GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

标准中涉及的相关检测项目

标准《GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范》中提到的相关检测项目主要包括以下几个方面：

1. 材料光学性能检测： 包括透光率、折射率等。
2. 表面质量检测： 如划痕、气泡、杂质等。
3. 尺寸和外观检测： 主要包括基板的尺寸测量和外观检查。
4. 厚度测量： 用于确保玻璃基板的均匀性。
5. 热膨胀系数检测： 确保材料在温度变化时的稳定性。
6. 应力检查： 评估基板在加工和使用过程中产生的应力。

检测方法一般包括：

• 光学显微镜法： 用于检测表面质量和划痕。
• 光谱分析法： 测量透光率和折射率。
• 激光干涉仪或千分尺： 用于精确测量厚度和尺寸。
• 热膨胀系数仪器： 检测材料的热膨胀特性。
• 偏振光干涉法： 用于应力测试。

涉及的产品主要包括各种类型的光掩模基板，尤其是用于微电子、光电子和其他高科技领域的石英玻璃基板。这些产品在半导体制造过程中起着关键作用，要求高精度和严格的质量控制。

GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范的基本信息

标准名：圆形石英玻璃光掩模基板规范

标准号：GB/T 16523-1996

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

标准状态：现行

GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范的简介

本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。GB/T16523-1996圆形石英玻璃光掩模基板规范GB/T16523-1996

GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范的部分内容

GB/T16523

本标准等效采用SEMI标准的SEMIP492&圆形石英玻璃光掩模基板现范》。本标准第3章要求全部按SEM1P4—92制定，标准格式按GB/T1.1—1993《标准化工作导则标准编写的基本规定》编制。

SEMI标准是半导体设备和材料国际标准，具有较高的科学性和先进性，内容全面，标准配套。本标准与已经转化为我国标准的SEMIP1---924硬面光掩模基板》(GR/T15871--1995),SEMIP2:86硬面光掩模用铬薄膜>(GB/T15870-1995)、SEM1P3—90硬面感光板中光致抗蚀剂利电子束抗蚀剂规范》（GB/T16527—1996)、SEMIP6-886光掩模对准标记规范》（GB/T16524--1996）及准备转化为我国标准的SEMIP21—92《掩模骤光系统准确度表示准则》、SEMIP2293光掩模缺陷分类和尺寸定义的指南》、SEMIP19-92&用十集成电路制造技术的检测图形单元规范》等项标准形成-个微型构图标准系列。

本标准附录 A 是提示的附录。

本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电了-上业部标准化研究所归口。本标准起草单位：长沙船光微电子总公司，电子工业部标雄化研究所。本标准主要起草人：谈仁良、吴保华、十亦林、韩艳芬。1范围

中华人民共和国国家标准

圆形石英玻璃光掩模基板规范

Specitication for

round quartz photomask suhstrates木标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。2引用标准

GB/T16523-1996

下列标准所包含的条文，通逆在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191-90F包装储运图示标志

GB2828—87逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查）GB2829-87周期检查计数样程序及抽样表（适用于生产过程稳定性的检查）GB7238—87玻璃及铬版表面平整度的测试方法GB9622.2--88电子玻璃平均线热膨胀系数的测试方法3要求和测量方法

3.1外形尺寸

3.1.1圆形石英玻璃光掩模基板的外形见图1和图2.外形尺寸见表1和表2.国家技术监督局1996-09-09批准1997-05-01实施

直径D

注：弦长1为参考值：

GB/T16523--1996

基板的外形尺寸

弦长！

32. 5- 2. 5

GB/T16523-1996

表2大规格基板的外形尺寸

弦必距上

厚度品

CB/T16523—1996

3.1.2基板的外形尺寸用准确度为0.02mm的游标卡尺和有分表测量，边缘尺寸用15倍测量显微镜量。

3.2材料性能

3.2.1使用环境温度：0～300℃

3.2.2膨胀系数：100%石英材料：膨胀系数不大丁5.5×10-1/K；低纯度石英：膨胀系数不大于7.5×10-1/K。3.2.3透射特性：波长为200 nm~405 nm时,透射率由供需双方商定。3.2.4基板的热膨胀系数按CB9622.2规定的方法进行测量，透射率用精度为1nm的UV可见光分光光度计进行测量。

3.3物理性能

基板的物现性能见附录A（提示的附录)。3.4平面度

3.4.1基板的面，在规定的整个圆形质量区（见图3）.大规格基板（184mm）的质量区见图2.乎面度应符合表3的规定。

国形区

表3平面度

规格L

3.4.2基板的平面度按GB7238规定的方法进行测量。3.5外观要求

3.5.1基板质量区内的内部缺陷见表4。平面度

不透明点

CB/T 16523—1996

表4质量区内的内部缺陷

3.5.2基板质量区内的表面缺陷见表5表５

残余物

基板正面

基板反面

3.5.3基板质量区外的缺陷见表6。质量区内的表面缺陷

总缺陷数

个/cm

表6质望区外的缺陷

边缘碎屑

轻向深度

周边条痕

总缺陷数

个/cm2

供爵双方商定

总缺陷数

个/cm

0. 007 75

不透明,点

3.5.4基板的缺陷用410倍人视场立体显微镜检查，缺陷尺寸用500倍测量显微镜检查。4

检验规则

基板检验分交收检验和例行检验。4.1交收检验

4.1.1检验批：检验批应由同一工艺条件生产，不同规格.同时交付的产品组成。4.1.2基板入库前应逐批进行交收检验，总缺陷数

个/cm

4.1.3交收检验均应在制造厂质量部门进行，必要时用户亦可派人共问进行。制造厂提供试验的必要条件，并对试验结果负贡。

4.1.4用户有权对交收检验的结果进行复查。4.1.5交收检验应接GB 2828中规定的一次正常检查方案进行抽样,交收检验的项目、检查水平(IL)及合格质量水半(AQL)应符合表7的规定。表7交收试验

检验项目

外形尺寸

外规要求

4.2例行检验

要求利测量方法章条号

4.2.1有下列情况之一者,应进行例行检验：8）产品定型：

1）产品结构，材料、工艺有轻人改变时：c）正常生产情况下,每年进行一欲；d）产品停产一年以上，恢复生产时：AQL

GB/T 16523—1996

e）交收检验结果与上次例行检验有较大差异时：f）国家质量机构提出进行例行检验要求时。4.2.2例行检验必须在交收检验合格的批中随机抽取。例行检验按GB2829中一饮抽样力案进行+例行检验项日判别水平(DL)及不合格质量水平(RQI.)应符合表8的规定。表8例行检验

验项目

外形尺寸

树释性能

平面度

外婉要求

要求和测基方法章条号

4.2.3例行检验项R中，有一项不合格，则该批产品例行检验为不合格。5标志包装.运输、贮存

5.1包装和标志

5.1.1基板应在100级的坏境中进行内包装，设计的内包装盒应能防止坡璃与玻璃机接触，并能避免基板在装运过程中受到沾污。基板装盒时应将平面度合格的一面朝向盒了的同端，且在每只盒了上应标明这个方问。包装盒上应标明：“警告：只能在洁净间条件下打开和处理”，每个内包装盒均应贴上合格证，合格证1应注明：

l）产品名称、编号

b）产品舰格尺寸

c）数量；

d）检验日期及检验员签章。

5.1.2外包装箱采用钙塑瓦楞纸或硬纸板制作，外包装箱上应标明：α）产品名称、型号；

b）产品编号；

c）生产日期：

d）制造厂名称、地址，商标。

5.1.3包装箱外壁应标有符合GB191规定的“保持干燥\“向上\“小心易碎\等字样和标志。5.2运输

产品在运输过程中应防湿、防震、防提伤,不得与腐蚀性物质混装运输。5.3贮存

5.3.1产品应存放在相对湿度不大于60%，干净，无有害气体的库房内。5.3.2产品从生产之日起，贴存期一年。基板的物理性能：

GB/r16523-1996

附录A

（提示的附录）

基板的物理性能

弹性模量6.7×10°N/mm~7.4X10N/mm*（6.7×10kg//mm2~7.4×10*kgl/mm*）泊松比0.18~0.19

密度2.18g/cm2.20g/cm

折射率

北检院检验检测中心能够参考《GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范》中的检验检测项目，对规范内及相关产品的技术要求及各项指标进行分析测试。并出具检测报告。

检测范围包含《GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范》中适用范围中的所有样品。

测试项目

按照标准中给出的实验方法及实验方案、对需要检测的项目进行检验测试，检测项目包含《GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范》中规定的所有项目，以及出厂检验、型式检验等。

热门检测项目推荐

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检研究院的服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。